三七看书

第78章 山巍[10] 样机发布。（第2页）

“怎么样？蓝河科技传出消息了没?？”

“还?没?有。”

“唉！继续盯着，务必第一时间拿到消息。希望样机验收成功。”

类似的情形和对话?分?别在?欧美、日韩等国的半导体龙头企业内部发?生，他们也正在?焦急等待海外华国一个规模不大却令人不敢小觑的科技公司的最新消息。

不过他们和国内企业家的愿望不同，他们在?内心里不断发?出恶狠狠的诅咒，尤其欧美国家诅咒最美，但愿蓝河科技的实验结果惨遭滑铁卢！

最好一直滑铁卢，永远不会成功！

很可惜他们注定会失望。

蓝河科技内，随着盛明安手势的指挥，矗立众人跟前的那台光刻机样机在?漫长的一小时内完成了它的第一次验收。

样机看?不见的内部，无数比头发?丝还?细的激光穿过几十个精密镜头后?，准确击中锡液滴靶，四处分?散的等离子体被收集，将掩膜版上的图形信息透过缩图透镜完完整整复刻到下面的晶圆，曝光晶圆。

一个小时后?，各小组汇报结果。

“完成光刻试验任务，没?有异常。”

“一小时内成功曝光160片晶圆，比目前已知的asml euv nex3400b机型每小时曝光125片晶圆吞吐量多?达35片！套刻误差不超过2nm！”

“数据已全部记录，根据数据计算显示，可以在?原样机的基础上将效率提高至少?18%，套刻误差提高到2nm以下。”

“一片晶圆可得芯片数量等于晶圆面积/芯片面积晶圆直径/芯片对角线长，照该公式计算我们目前使?用的12英寸晶圆一片可得到的芯片数量，不过最后?可用的芯片数目得等到封测完毕才能知道最终的晶圆良率。”

经过光刻机曝光后?的一大块晶圆还?需要封装成一个完整的颗粒，再进行切割，最后?测试。通过测试选出性能稳定、完好、容量足的芯片，剩下不合格的部分?就会被当成废品处理。

稳定的芯片和不合格的芯片对比得出的数据称为晶圆良率，总良率超过90%才算可盈利的商品。

而晶圆制作过程历经三百多?个步骤，其中随便哪个步骤出现差错就能导致整片晶圆损毁或拉低良率。

一粒肉眼看?不见的灰尘掉进正在?制作中的晶圆，它就会立即报废，所以光刻过程必须保证在?恒温、无尘车间内工作。